第57章 从零到一（1 / 4）
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復大物理楼考场內。
李东皱著眉头审题
“系统匀速扫描……浸没液瞬態温升……”
他在草稿纸上写下了几个流体力学和热传导的核心参量。
“要去解决水的问题呀！”
“用微流控主动散热系统怎么说？”
“可以在晶圆台上方建个高频的循环流道，把热量瞬间带走。”
李东刚想到就立刻否决了。
“不行，不行。”
“晶圆台的扫描速度至少1200mm/s，单脉衝雷射带来的浸没液瞬態温升时间都是微秒级的，循环流控的热响应速度根本追不上。”
“而且还要把局部温升控制到 以內，才能满足线宽要求。”
“100万可能搞不定吧。”
李东真·挠了挠头，尝试用第二个角度切入。
“那自適应光学补偿呢？在光路中加入可变形反射镜，实时测温然后抵消光程差？”
李东摇了摇头，再次否决。