第245章 你难道连这个也懂
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  第245章 你难道连这个也懂
  “继续讲吧。”
  徐铭点点头重新看向对方，示意往下接著报告。
  这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。
  “对。”
  “快说下其他测试项目情况？”
  迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，隨即接著念出手中报告后面的內容。
  “线条边缘粗糙度出现异常，ler的测量值，普遍比璇璣系统预测高出30%。”
  隨著这句话讲出，房间內的氛围顿时一变。
  原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。
  没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。
  而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。
  旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。
  从刚才的测试结果来看，国產逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。
  正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。