第429章 魔都微电子
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  “贺总，对於euv技术，你们怎么看？”
  贺天成明显愣了一下，旋即苦笑起来，摆了摆手。
  “马总，咱们得脚踏实地啊。”
  他嘆了口气，像是要把胸中的鬱结之气都吐出来。
  “国內的光源技术跟国外差著几代呢。別提euv了，就是现在主流duv用的arf雷射光源模块，我们都造不出来。euv那种东西，在国际上都还没有成熟，对我们来说，太遥远了。”
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  马宇腾扶了扶眼镜，镜片后的目光看不出情绪。
  他脑中闪过一些被埋藏在记忆深处的零碎信息。
  “我听说国內有一种晶体，能產生深紫外雷射，相关技术在国际上是独一份的。”
  “这种晶体，能不能用到光刻机光源上？”
  贺天成原本有些黯淡的眼睛，瞬间亮了一下。
  “马总说的是kbbf晶体？”
  他站起身，像是被触动了某个开关，激动地走到会议室的白板前。
  “那是科学院陈老团队的成果！他们九六年就用那玩意儿搞出了六倍频技术，能把1064纳米的雷射，硬生生倍频成177.3纳米的深紫外光！”
  马宇腾紧跟著追问：“既然有这种好东西，为什么不用它来做光刻机的光源系统？”